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TRANSENE
PureSAB
無電鍍鎳組
鹼性鍍鎳鎳水
去光阻劑
去蠟液
顯影劑 / 定影劑
氯化金 / 氯化鈀 / 鍍金水
Precursor
3M
去光阻劑
產品簡介
有機溶劑型去光阻液,可應用於Discrete Device、LED、TP、TFT 等業界,且槽浴式及水平操作皆可使用。適用於酚醛樹酯配方之正、負以及環化、光酸機制的各類光阻。針對鋁、鈦、鎳、銀、金、鉻、鉬、磊晶層、氧化銦錫等材料具有良好保護。並具有去除優良、低溫操作、金屬低腐蝕等優點。
操作建議
●
槽浴式
●
水平操作式
實際操作
● Substrate: SiO2 / EPI
30 mins@70℃
● Substrate: Cr / Au / EPI
30 mins@70℃
● Substrate: Al alloy / EPI
30 mins@70℃
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